九州酷游

半导体装备

集成电路

集成电路作为信息手艺工业的焦点,是关系国民经济和社会生长的基础性、先导性工业,已成为拉动电子工业迈向数字时代的强盛引擎。随着5G、AI、IoT、VR/AR、高性能运算等手艺应用的一直推进,发动了集成电路芯片工业的快速生长。   

在集成电路制造领域,针对Logic、DRAM、3D NAND、3D IC等差异的芯片手艺,九州酷游可提供等离子刻蚀机、PVD、CVD、ALD、炉管和洗濯等装备,并均已进入主流芯片工厂。自建设以来,九州酷游多款产物逐步被集成电路芯片制造企业指定为基准机台,普遍地获得了客户和市chang的认可。

离子注入装备

Implant

  • 等离子刻蚀装备
  • 物理气相沉积装备
  • 化学气相沉积装备
  • 湿法装备
  • 立式炉管装备
  • 离子注入装备
  • 快速热处置赏罚装备
  • 外延装备
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