Polaris 系列PVD金属薄膜物理气相沉积系统主要由真空传输平台，去气腔室，预清洁腔室和工艺腔室组成，装备接纳Cluster Tool架构，可设置多个工艺腔室、预洗濯腔室和去气腔室，适用于科研领域。Polaris 系列PVD为全自动大产能装备，具有wafer自动传输，工艺去气，晶片外貌预清洁、薄膜沉积完全自动化等特点。