半导体装备 Semiconductor
Surefill W620
金属钨膜沉积系统
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营业联系人：马宁
Surefill W620 金属钨膜沉积系统
Surefill W620 CVD System
Surefill W620产物是一款针对金属钨薄膜的化学气相沉积装备，适用于集成电路、功率半导体等领域，可实现对8英寸晶圆的全自动化工艺处置赏罚。gai系统接纳尺度化的传输系统和模块化的工艺腔室设计，设置无邪、工艺窗口宽、功效集成度高，各项工艺手艺指标均到达国际先进水平。
- 装备特点
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- 产物应用
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