金属刻蚀机主要用于6/8英寸金属干法刻蚀工艺。gai机台为多腔室集群装备，能够举行全自动并行工艺处置赏罚。产物通过独创设计可以实现超长MTBC。Al、W等刻蚀使用同种设置，有用节约维护成本。普遍应用于8寸IC、功率器件、化合物半导体等领域。
