主要为12英寸逻辑领域G0及以上节点（含G0）BEOL AIO工艺提供解决方案。装备配备双频脉冲射频+Top DC，有用控制等离子体能量及密度，提高TiN选择比；C/M/E三区进气可调；ESC 4zone精准控温；高温腔体降低TiF副产物并镌汰polymer沉积。可实现精准的孔槽形貌控制。
