NMC612D应用于12英寸干法刻蚀工艺,针对Logic、3D NAND、DRAM以及Power等领域。主要应用为浅沟槽隔离刻蚀,栅极刻蚀、侧墙刻蚀等制程,具有富厚的工艺调试手段、较高的刻蚀匀称性以及量产稳固性。