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    半导体装备 Semiconductor

    NMC 612D

    12英寸硅刻蚀机

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    NMC 612D 12英寸硅刻蚀机
    NMC 612D 12 Inch Silicon Etcher
    NMC612D应用于12英寸干法刻蚀工艺,针对Logic、3D NAND、DRAM以及Power等领域。主要应用为浅沟槽隔离刻蚀,栅极刻蚀、侧墙刻蚀等制程,具有富厚的工艺调试手段、较高的刻蚀匀称性以及量产稳固性。
    装备特点
    产物应用
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