Booster A630/A630 Plus主要用于12英寸后段金属互联退火工艺。gai机台为多腔集群装备，能够举行全自动并行工艺处置赏罚。系统主要由传输？楹3个工艺？樽槌。其中工艺？橹饕糜赑ost Etch和Post Cu CMP退火工艺，去除Low-K质料吸附的水汽以恢复K值，消除前道工艺导致的应力。
