SES630系列为单腔多片式硅外延装备，适用于4/5/6/8英寸的硅外延工艺。SES系列反映腔室接纳多片平板式的结构，配合感应加热的方式实现高质量的外延薄膜生长，适用于厚度5-130?m规模的外延工艺，准确可调N型、P型掺杂。gai装备智能化人机交互设计与高效的清静互锁保障了系统清静和稳固。
