Satur系列为多片式MOCVD外延装备，适用于4/6/8英寸的硅基/蓝宝石基/碳化硅基氮化镓外延工艺及砷化镓/磷化铟外延工艺，可应用于功率器件、Micro-LED、射频器件领域及LED、光伏、光通讯领域。Satur 系列接纳盒对盒全自动传输，先进的实时控制系统、大面积匀称温度chang、大规模稳固可调气流。芄恢慊衔锇氲继逑冉骷对外延层组分、厚度和掺杂匀称性的高要求。