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3120G

12英寸前道通用化学品单片洗濯装备

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3120G 12英寸前道通用化学品单片洗濯装备
3120G 12 lnch Front-end general chemical Single Wafer Clean Tool
主要用于集成电路领域12英寸前段洗濯工艺，接纳堆叠式架构及多片式传输系统，占地小、产能高；接纳热异丙醇（IPA）干燥手艺，实现优异的干燥效果。颗粒去除体现卓越，跻shen海内一流水平。
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