用于集成电路，先进封装、新兴应用等领域12英寸后段洗濯工艺，支持正反面多种化学品应用。接纳多片式传输系统保障高效工艺产出；细密的腔室及卡盘设计支持超高的化学品接纳效率；搭载热异丙醇（IPA）干燥手艺，实现优异的干燥效果。
